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发布日期:2022-05-10 10:39    点击次数:146

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深紫外准一语气固体激光光源应用场景鄙俚,在材料名义检测(半导体晶圆短处检测等)、激光提醒击穿光谱(LIBS)、激光提醒荧光(LIF)、紫外拉曼光谱仪、激光精眇小加工(激光直写、激光提醒等离子体加工、光学布拉格光栅刻写)等方面具有独到的本领上风。这些应用对光源的条款具有一样性:波怀念、光谱线宽窄、功率高、相通频率好、自如性高及可靠性高档。

奉陪国内对266nm及以下波段高端深紫外光源需求量的日益增多,具有独揽地位的海外入口光源存在采购风险,且很难保证产物的售后时效性,国内干系产业进军需要高端深紫外光源兑现国产化替代。在此配景下,北京科益虹源光电本领有限公司(下文简称科益虹源)行使现存的光、机、电、控、测等完备研发体系积极开展科研攻关,突破多项重要中枢本领难点,变成高自如性、高可靠性的高端深紫外光源产物,该系列产物具有竣工自主学问产权,可兑现高端深紫外光源国产化替代。

科益虹源现已推出多款深紫外波段的货架产物,主要采集在213nm波段及266nm波段,现已开发4款熟悉机型,脉冲宽度<10ps,光谱线宽小于15pm,相通频率1MHz/70MHz为主,本领参数对标入口产物的高端深紫外光源。其中,266nm波段的高重频大功率皮秒级固体激光光源已得胜推向商场,在半导体检测行业与激光精眇小加工行业变成了生意订单。当今公司产物266nm及以下深紫外波段主要货

架产物本领诡计参见下表:

266nm及以下波段深紫外产物主要产物本领诡计

激光器图片与干系实测数据

由于深紫外激光单光子能量较高,非线性晶体容易损害,保证永远可靠性是一个挑战。科益虹源自主研发,通过独到遐想自主学问产权的功率自如性狂放算法、全自动移点、高光束质地遐想、吹扫过滤保护遐想等来保证产物永远可靠性、自如性,恬逸工业用户对永远可靠性的实质需求,已达到宇宙先进水平:单点寿命可兑现一语气超1000小时服务,1000小时平均功率RMS<0.5%,光束质地M²小于1.2,已赶超同类入口产物水平。

同期,科益虹源积极开展同类型更高重频120MHz深紫外大功率工业级固体激光光源开发,并针对更多类型工业用户实质需求,开展了脉宽2-7ns可调谐、频率1Hz-1MHz可调谐的266nm大功率固体激光器的研发。当今,以上机型已完成决议考证及工艺定型,正在开展产物化分娩,很快也会变成货架产物投向商场,为国内工业用户高端深紫外光源提供更多遴荐。

除以上重心先容的266nm及以下波段深紫外准一语气激光器外,科益虹源在其他波段,也研制完成多个激光器产物序列,包含532nm、355nm等多款产物均恬逸工业客户高可靠性、永劫期自如性的需求,本领诡计均达到国内先进水平。当作国产高端激光器厂家,公司与客户进行了深远相易,好硬啊进得太深了a片了解客户痛点,擢升客户首肯度和使用体验,提供专科定制化产物,恬逸本领诡计需求情况下,保证产物性量及供货周期。

科益虹源从公司树立之初,就针对深紫外准一语气固体激光光源开展研发服务,具备完整光、机、电、控、系统和集成边界研发分娩团队,是国内独逐个家概况为客户提供266nm及以下波段的深紫外、高重频、大功率、工业级、固体激光光源供应商。

公司多年来深耕工业级深紫外激光器行业,是中国独一、寰球第三家光刻准分子激光本领全链条研发和产业化的公司,领有国度02专项支撑、10余年本领储备、凸起专科团队、二百余项专利授权等多项中枢竞争力。具备专科化团队,概况为客户提供及时本领支撑,保险客户拓荒自如运转,保证产物性量同期恬逸客户交货周期条款,为客户经济效益添砖加瓦。

科益虹源承袭“服务国度计谋,兑现产业价值”的责任,努力于于打造高端光源边界的自主革命型企业,突破国际对集成电路干系高端光源的独揽,为国度产业发展提供产物与本领支撑,成为高端光源边界具备国际竞争力的知名企业。

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